文献
J-GLOBAL ID:201702276058846826
整理番号:17A1555377
ガラスバイアによる高アスペクト比のための統合プロセス【Powered by NICT】
Integrated process for high aspect ratio through glass vias
著者 (5件):
Xue Kai
(Wuxi Gmax Microelectronics Co., Ltd, 214000, China)
,
Jiang Feng
(Wuxi Gmax Microelectronics Co., Ltd, 214000, China)
,
Wu Heng
(Wuxi Gmax Microelectronics Co., Ltd, 214000, China)
,
Zhou Xiufeng
(Fifty-eighth Institute of CETC, Wuxi, 214000, China)
,
Ming Xuefei
(Fifty-eighth Institute of CETC, Wuxi, 214000, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ICEPT
ページ:
1451-1454
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)