文献
J-GLOBAL ID:201702276104459068
整理番号:17A1276949
低熱予算でのナノ機械構造のためのナノスケール高アスペクト比超鋭いチップの作製【Powered by NICT】
Fabrication of nano-scale high aspect ratio ultra sharp tips for nano-mechanical structures at low thermal budget
著者 (5件):
Wang Peng
(The University of New South Wales, NSW, Australia)
,
Michael Aron
(The University of New South Wales, NSW, Australia)
,
Chen Ssu Han
(The University of New South Wales, NSW, Australia)
,
Chuang Ian
(The University of New South Wales, NSW, Australia)
,
Kwak Chee Yee
(The University of New South Wales, NSW, Australia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
TRANSDUCERS
ページ:
1328-1331
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)