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J-GLOBAL ID:201702276562586448   整理番号:17A1391409

6インチシリコンオンインシュレータ基板上のin situ SiN_xゲート誘電体AlGaN/GaN MISHEMTのRF性能【Powered by NICT】

RF Performance of In Situ SiNx Gate Dielectric AlGaN/GaN MISHEMT on 6-in Silicon-on-Insulator Substrate
著者 (7件):
Chiu Hsien-Chin
(Department of Electronic Engineering, Department of Radiation Oncology, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
Wang Hou-Yu
(Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
Peng Li-Yi
(Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
Wang Hsiang-Chun
(Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
Kao Hsuan-Ling
(Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
Hu Chih-Wei
(Episil-Precision Inc., Hsinchu, Taiwan)
Xuan Rong
(Episil-Precision Inc., Hsinchu, Taiwan)

資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)

巻: 64  号: 10  ページ: 4065-4070  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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