文献
J-GLOBAL ID:201702276946320588
整理番号:17A1358073
膜片持梁アレイ構造を持つMEMSフローセンサ【Powered by NICT】
A MEMS-based flow sensor with membrane cantilever beam array structure
著者 (5件):
Tian Bian
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China)
,
Li Huafeng
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China)
,
Yang Ning
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China)
,
Liu Hanyue
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China)
,
Zhao Yulong
(State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
NEMS
ページ:
185-189
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)