文献
J-GLOBAL ID:201702276961748740
整理番号:17A1036146
ウエハレベルエピタキシャルシリコン封入プロセスで実現した小型ロール・ピッチ・ヨージャイロスコープ【Powered by NICT】
Compact roll-pitch-yaw gyroscope implemented in wafer-level Epitaxial Silicon Encapsulation process
著者 (7件):
Efimovskaya Alexandra
(MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, USA)
,
Yushi Yang
(Integrated Device Technology, Inc., San Jose, CA, USA)
,
Ng Eldwin
(InvenSense, Inc., San Jose, CA, USA)
,
Yunhan Chen
(Stanford University, Palo Alto, CA, USA)
,
Flader Ian
(Stanford University, Palo Alto, CA, USA)
,
Kenny Thomas W.
(Stanford University, Palo Alto, CA, USA)
,
Shkel Andrei M.
(MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
INERTIAL
ページ:
1-2
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)