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J-GLOBAL ID：201702277236178237 整理番号：17A0403994

Ndの幾何学的特徴に及ぼすレーザ走査速度の影響:薄い窒化ケイ素基板におけるYAGレーザ加工したホール【Powered by NICT】

Effect of laser scanning speed on geometrical features of Nd:YAG laser machined holes in thin silicon nitride substrate

著者 (5件)：

Zhang Jinyang

(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, No 100 Waihuan Xi Road, Guangzhou Higher Education Mega Center, Panyu District, Guangzhou 510006, PR China)

,

Long Ying

(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, No 100 Waihuan Xi Road, Guangzhou Higher Education Mega Center, Panyu District, Guangzhou 510006, PR China)

,

Liao Shixian

(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, No 100 Waihuan Xi Road, Guangzhou Higher Education Mega Center, Panyu District, Guangzhou 510006, PR China)

,

Lin Hua-Tay

(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, No 100 Waihuan Xi Road, Guangzhou Higher Education Mega Center, Panyu District, Guangzhou 510006, PR China)

,

Wang Chengyong

(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, No 100 Waihuan Xi Road, Guangzhou Higher Education Mega Center, Panyu District, Guangzhou 510006, PR China)

資料名：

Ceramics International (Ceramics International)

巻： 43 号： 3 ページ： 2938-2942 発行年： 2017年
JST資料番号： H0705A ISSN： 0272-8842 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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