文献
J-GLOBAL ID:201702277443177462
整理番号:17A0203773
付加水素ガスによるアルゴン/窒素混合ガス中での高周波マグネトロンスパッタリングにより堆積した厚いc-BN膜【Powered by NICT】
Thick c-BN films deposited by radio frequency magnetron sputtering in argon/nitrogen gas mixture with additional hydrogen gas
著者 (7件):
Zhao Yan
(Jilin University)
,
Gao Wei
(Jilin University)
,
Xu Bo
(Department of Physics, College of Science, Yanbian University)
,
Li Yingai
(Jilin University)
,
Li Hongdong
(Jilin University)
,
Gu Guangrui
(Department of Physics, College of Science, Yanbian University)
,
Yin Hong
(Jilin University)
資料名:
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻:
25
号:
10
ページ:
106801-1-106801-5
発行年:
2016年
JST資料番号:
W1539A
ISSN:
1674-1056
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
英語 (EN)