文献
J-GLOBAL ID:201702277634474341
整理番号:17A1764171
調整された電圧波形で励起された磁気容量結合アルゴンプラズマの加熱機構
Heating mechanisms of magnetized capacitively coupled argon plasmas excited by tailored voltage waveforms
著者 (5件):
Yang Shali
(School of Physics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)
,
Innocenti Maria Elena
(Centre for Mathematical Plasma-Astrophysics, Department of Mathematics, University of Leuven, Leuven 3001, Belgium)
,
Zhang Ya
(School of Science, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China)
,
Yi Lin
(School of Physics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)
,
Jiang Wei
(School of Physics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
35
号:
6
ページ:
061311-061311-9
発行年:
2017年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)