前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702277649650702
整理番号：17A0124328
kMC TDDBシミュレーションを持つ超薄EOT高k金属ゲートNMOSFETの時間依存絶縁破壊特性に及ぼすTiNキャッピング層の影響に関する研究【Powered by NICT】
Study on influences of TiN capping layer on time-dependent dielectric breakdown characteristic of ultra-thin EOT high--k metal gate NMOSFET with kMC TDDB simulations
Xu Hao
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Yang Hong
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Luo Weichun
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Xu Yefeng
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Wang Yanrong
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Tang Bo
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Wang Wenwu
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Qi Luwei
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Li Junfeng
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Yan Jiang
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Zhu Huilong
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Zhao Chao
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Chen Dapeng
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
,
Ye Tianchun
(Institute of MicroElectronics, Chinese Academy of Sciences)
資料名：
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻： 25 号： 8 ページ： 087305-1-087305-05 発行年： 2016年
JST資料番号： W1539A ISSN： 1674-1056 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。