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文献
J-GLOBAL ID：201702278146791930
整理番号：17A0578366
ナノインデンテーションサンプル調製のためのラジオ周波数グロー放電スパッタリングの適用
Application of Radio Frequency Glow Discharge Sputtering for Nanoindentation Sample Preparation
SEKIDO N.
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
SEKIDO N.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
OHMURA T.
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
TSUZAKI K.
(National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
TSUZAKI K.
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Journal of Materials Engineering and Performance
(Journal of Materials Engineering and Performance)
巻： 26 号： 3 ページ： 1245-1250 発行年： 2017年03月
JST資料番号： C0161B ISSN： 1059-9495 CODEN： JMEPEG 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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