文献
J-GLOBAL ID:201702278157405407
整理番号:17A0402520
AZO/CuCr/AZO透明導電性電極に対する水素プラズマ効果【Powered by NICT】
Hydrogen plasma effect toward the AZO/CuCr/AZO transparent conductive electrode
著者 (3件):
Lin Tien-Chai
(Department of Electrical Engineering, Kun Shan University, No. 195, Kun-Da Road, Yung-Kang Dist., Tainan 71003, Taiwan, ROC)
,
Huang Wen-Chang
(Department of Electro-Optical Engineering, Kun Shan University, No. 195, Kun-Da Road, Yung-Kang Dist., Tainan 71003, Taiwan, ROC)
,
Tsai Fu-Chun
(Department of Electro-Optical Engineering, Kun Shan University, No. 195, Kun-Da Road, Yung-Kang Dist., Tainan 71003, Taiwan, ROC)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
167
ページ:
85-89
発行年:
2017年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)