文献
J-GLOBAL ID:201702278315486397
整理番号:17A1732040
ピコ秒超音波により研究したSiON薄膜の音速の温度挙動【Powered by NICT】
Temperature behavior of sound velocity of SiON thin films studied by picosecond ultrasound
著者 (6件):
Tsuboi Seiya
(Osaka University, Japan)
,
Ogi Hirotsugu
(Osaka University, Japan)
,
Nagakubo Akira
(Osaka University, Japan)
,
Nakamura Nobutomo
(Osaka University, Japan)
,
Matsuda Satoru
(Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd., Japan)
,
Kabe Yoshiro
(Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd., Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IUS
ページ:
1
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)