前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702278395561413
整理番号：17A0132693
流動床反応器における原子層堆積のプロセス最適化の機構モデル化研究
Mechanistic modeling study of atomic layer deposition process optimization in a fluidized bed reactor
Duan Chen-Long
(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Zhu Peng-Hui
(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Deng Zhang
(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Li Yun
(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Shan Bin
(School of Materials Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Fang Hai-Sheng
(Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Feng Guang
(Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
,
Chen Rong
(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, School of Optical and Electronic Information, Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35 号： 1 ページ： 01B102-01B102-9 発行年： 2017年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。