文献
J-GLOBAL ID:201702278525568455
整理番号:17A0289860
光化学作用を持つEUVマスク点検のための走査コヒーレント散乱法
Scanning Coherent Scattering Methods for Actinic EUV Mask Inspection
著者 (7件):
EKINCI Y.
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
HELFENSTEIN P.
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
RAJEEV R.
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
MOCHI I.
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
MOHACSI I.
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
GOBRECHT J.
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
YOSHITAKE S.
(NuFlare Technol. Inc., Yokohama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9985
ページ:
99851P.1-99851P.9
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)