文献
J-GLOBAL ID:201702278708250674
整理番号:17A1046177
X線蛍光分光計による多層膜厚さの測定
Measurement of Multilayer Film Thickness Using X-Ray Fluorescence Spectrometer
著者 (4件):
ZHANG Lei
(China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN)
,
LI Man
(China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN)
,
LI Haijian
(China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN)
,
SONG Xin
(China Building Material Test & Certification Group Co., Ltd., Beijing, CHN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
726
ページ:
85-89
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)