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文献
J-GLOBAL ID：201702278781153632
整理番号：17A1346306
金属ハードマスクを用いた深部反応性イオンエッチングによる新しいMEMSマイクログリッパの作製【Powered by NICT】
Fabrication of Novel MEMS Microgrippers by Deep Reactive Ion Etching With Metal Hard Mask
Bagolini Alvise
(Fondazione Bruno Kessler, Micro Nano Fabrication and Characterization Facility, Trento, Italy)
,
Ronchin Sabina
(Fondazione Bruno Kessler, Micro Nano Fabrication and Characterization Facility, Trento, Italy)
,
Bellutti Pierluigi
(Fondazione Bruno Kessler, Micro Nano Fabrication and Characterization Facility, Trento, Italy)
,
Chiste Matteo
(Fondazione Bruno Kessler, Micro Nano Fabrication and Characterization Facility, Trento, Italy)
,
Verotti Matteo
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Sapienza University of Rome, Rome, Italy)
,
Belfiore Nicola Pio
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Sapienza University of Rome, Rome, Italy)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26 号： 4 ページ： 926-934 発行年： 2017年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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