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文献
J-GLOBAL ID：201702279773568995
整理番号：17A0955310
4H-SiC(0001)の超高温酸化における急冷処理の影響
Impact of rapid cooling process in ultrahigh-temperature oxidation of 4H-SiC(0001)
SOMETANI Mitsuru
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
SOMETANI Mitsuru
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
NAGAI Daisuke
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KATSU Yoshihito
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HOSOI Takuji
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SHIMURA Takayoshi
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKEI Manabu
(Fuji Electric Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
YONEZAWA Yoshiyuki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
WATANABE Heiji
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56 号： 4S ページ： 04CR04.1-04CR04.3 発行年： 2017年04月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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