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文献
J-GLOBAL ID：201702279922162041
整理番号：17A1139890
ミニマルレーザ加熱装置で形成したゲート酸化膜を用いたp-MOSトランジスタのウェハ面内特性
佐藤和重
(ミニマルファブ推進機構)
,
佐藤和重
(坂口電熱)
,
千葉貴史
(ミニマルファブ推進機構)
,
千葉貴史
(坂口電熱)
,
寺田昌男
(ミニマルファブ推進機構)
,
寺田昌男
(坂口電熱)
,
池田伸一
(ミニマルファブ推進機構)
,
池田伸一
(産業技術総合研)
,
KHUMPUANG Sommawan
(ミニマルファブ推進機構)
,
KHUMPUANG Sommawan
(産業技術総合研)
,
原史朗
(ミニマルファブ推進機構)
,
原史朗
(産業技術総合研)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th ページ： ROMBUNNO.6p-C21-8 発行年： 2017年08月25日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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