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文献
J-GLOBAL ID：201702280145808349
整理番号：17A1732082
最小Fabプロセスを用いた単結晶ダイヤモンド上のSAW共振器の作製【Powered by NICT】
Fabrication of SAW resonators on single-crystal diamonds using Minimal-Fab process
Fujii Satoshi
(Dept. Info. & Comm. Sys. Eng., N. I. T., Okinawa College 905 Henoko, Nago-shi, Okinawa, Japan)
,
Negawa Masaya
(Dept. Info. & Comm. Sys. Eng., N. I. T., Okinawa College 905 Henoko, Nago-shi, Okinawa, Japan)
,
Kamehama Hiroki
(Dept. Info. & Comm. Sys. Eng., N. I. T., Okinawa College 905 Henoko, Nago-shi, Okinawa, Japan)
,
Toonoe Haruki
(New Business Development Equipment Service Dept. Yokogawa Solution Service Corporation 6-1, Sakaecho, Tachikawa-shi, Tokyo, Japan)
,
Shiba Yasunari
(New Business Development Equipment Service Dept. Yokogawa Solution Service Corporation 6-1, Sakaecho, Tachikawa-shi, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IUS ページ： 1-3 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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