文献
J-GLOBAL ID:201702280310847172
整理番号:17A0914676
ナノ構造タングステンのスパッタリング現象に及ぼす二体衝突近似シミュレーション【Powered by NICT】
Binary-collision-approximation simulation on sputtering phenomena of nano-structured tungsten
著者 (3件):
Nakamura Hiroaki
(Department of Helical Plasma Research, National Institute for Fusion Science, National Institutes of Natural Sciences, 322-6 Oroshi, Toki, Gifu, Japan)
,
Saito Seiki
(Department of Electrical Engineering, National Institute of Technology, Kushiro College, Otanoshike-Nishi 2-32-1, Kushiro-Shi, Hokkaido, Japan)
,
Ito Atsushi M.
(Department of Helical Plasma Research, National Institute for Fusion Science, National Institutes of Natural Sciences, 322-6 Oroshi, Toki, Gifu, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ICCEM
ページ:
23-24
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)