文献
J-GLOBAL ID:201702280428001844
整理番号:17A1422701
imecにおける高スループットイオンビーム分析【Powered by NICT】
High-throughput ion beam analysis at imec
著者 (3件):
Meersschaut J.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Vandervorst W.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Vandervorst W.
(IKS, KU Leuven, Celestijnenlaan 200D, B-3001 Leuven, Belgium)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
406
号:
PA
ページ:
25-29
発行年:
2017年
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)