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文献
J-GLOBAL ID：201702280616509244
整理番号：17A0133042
TiN/TiN(001)膜成長動力学に対する入射N原子運動エネルギーの影響: 分子動力学研究
Effects of incident N atom kinetic energy on TiN/TiN(001) film growth dynamics: A molecular dynamics investigation
Edstrom D.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden)
,
Sangiovanni D. G.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden)
,
Hultman L.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden)
,
Petrov I.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden)
,
Greene J. E.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden)
,
Chirita V.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 121 号： 2 ページ： 025302-025302-10 発行年： 2017年01月14日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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