文献
J-GLOBAL ID:201702281315383350
整理番号:17A1834235
表面微地形測定のための直交位相シフト干渉法【Powered by NICT】
Quadrature phase-shifting interferometry for surface micro-topography measurement
著者 (1件):
Ibrahim Dahi Ghareab Abdelsalam
(Engineering and surface metrology department, National Institute of Standards, El-Giza, Egypt)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CLEO-PR
ページ:
1-2
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)