文献
J-GLOBAL ID:201702281326753313
整理番号:17A0973036
高精細計測に基づく機械加工プロセスにおける複数チャンバの体積差分のオンライン最小化のための体系的アプローチ
A Systematic Approach for Online Minimizing Volume Difference of Multiple Chambers in Machining Processes Based on High-Definition Metrology
著者 (4件):
HUANG De-Lin
(Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai, CHN)
,
DU Shi-Chang
(Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai, CHN)
,
LI Gui-Long
(Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai, CHN)
,
WU Zhuo-Qi
(Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai, CHN)
資料名:
Journal of Manufacturing Science and Engineering
(Journal of Manufacturing Science and Engineering)
巻:
139
号:
8
ページ:
081003.1-081003.17
発行年:
2017年08月
JST資料番号:
C0657A
ISSN:
1087-1357
CODEN:
JMSEFK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)