文献
J-GLOBAL ID:201702281842631978
整理番号:17A1392334
圧電片持梁ベースMEMSセンサの動力学に及ぼす亀裂故障の影響【Powered by NICT】
Effects of Crack Faults on the Dynamics of Piezoelectric Cantilever-Based MEMS Sensor
著者 (4件):
Shoaib Muhammad
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Bandar Seri Iskandar, Perak, Malaysia)
,
Hamid Nor Hisham
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Bandar Seri Iskandar, Perak, Malaysia)
,
Tariq Jan Mohammad
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, Malaysia)
,
Zain Ali Noohul Basheer
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, Malaysia)
資料名:
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻:
17
号:
19
ページ:
6279-6294
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1318A
ISSN:
1530-437X
CODEN:
ISJEAZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)