文献
J-GLOBAL ID:201702281843876195
整理番号:17A1671916
直流/高周波カップリング反応性マグネトロンスパッタリング法によるダイヤモンド薄膜の調製と分析を行った。【JST・京大機械翻訳】
Investigation of diamond like carbon thin film deposited by coupling DC/RF reactive magnetron sputtering
著者 (6件):
Liu Lei
(西南科技大学 材料科学与工程学院,四川 綿陽 621010; 中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽 621900)
,
Wang Tao
(中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900)
,
He Zhibing
(中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900)
,
Zhang Ling
(中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900)
,
Yi Yong
(西南科技大学 材料科学与工程学院,四川 綿陽,621010)
,
Du Kai
(西南科技大学 材料科学与工程学院,四川 綿陽 621010; 中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽 621900)
資料名:
Gongneng Cailiao
(Gongneng Cailiao)
巻:
48
号:
1
ページ:
1209-1214
発行年:
2017年
JST資料番号:
C2095A
ISSN:
1001-9731
CODEN:
GOCAEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
中国語 (ZH)