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文献
J-GLOBAL ID：201702281906588592
整理番号：17A0416720
MEMSマイクロカンチレバーシステムの試験と特性化【Powered by NICT】
Testing and characterization of a MEMS micro-cantilever system
Said Kafumbe
(Department of Electronic Engineering Technology, Higher Colleges of Technology, Abu Dhabi, UAE)
,
Alun Harris
(School of Electrical, Electronics and Computer Engineering)
,
Jim Burdess
(School of Mechanical Systems Engineering, Newcastle University, UK)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： MWSCAS ページ： 1-4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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