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文献
J-GLOBAL ID：201702282092384129
整理番号：17A0570241
金属支援化学エッチングとナノスフェアリソグラフィーに基づく熱酸化による希釈Siナノワイヤアレイの合成と形態制御
Synthesis and morphology control of diluted Si nanowire arrays by metal-assisted chemical etching and thermal oxidation based on nanosphere lithography
ZHOU Bukang
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
ZHOU Bukang
(Univ. Sci. and Technol. China, Hefei, CHN)
,
LI Xinhua
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
SHI Tongfei
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
LIU Guangqiang
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
CAO Huaxiang
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
CAO Huaxiang
(Univ. Sci. and Technol. China, Hefei, CHN)
,
WANG Yuqi
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
資料名：
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻： 52 号： 11 ページ： 6449-6458 発行年： 2017年06月
JST資料番号： B0722A ISSN： 0022-2461 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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