文献
J-GLOBAL ID:201702282092384129
整理番号:17A0570241
金属支援化学エッチングとナノスフェアリソグラフィーに基づく熱酸化による希釈Siナノワイヤアレイの合成と形態制御
Synthesis and morphology control of diluted Si nanowire arrays by metal-assisted chemical etching and thermal oxidation based on nanosphere lithography
著者 (8件):
ZHOU Bukang
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
ZHOU Bukang
(Univ. Sci. and Technol. China, Hefei, CHN)
,
LI Xinhua
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
SHI Tongfei
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
LIU Guangqiang
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
CAO Huaxiang
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
,
CAO Huaxiang
(Univ. Sci. and Technol. China, Hefei, CHN)
,
WANG Yuqi
(Inst. Solid State Physics, Chinese Acad. Sci., Hefei, CHN)
資料名:
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻:
52
号:
11
ページ:
6449-6458
発行年:
2017年06月
JST資料番号:
B0722A
ISSN:
0022-2461
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)