文献
J-GLOBAL ID:201702282291474468
整理番号:17A0739025
センシング適用における感度強化のための微小片持ち梁の形状とプロファイル調整
Geometry and Profile Modification of Microcantilevers for Sensitivity Enhancement in Sensing Applications
著者 (6件):
LIU Yan
(Xidian Univ., Xi’an, CHN)
,
LIU Yan
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
,
WANG Hai
(Xidian Univ., Xi’an, CHN)
,
QIN Hongbo
(Xidian Univ., Xi’an, CHN)
,
ZHAO Wei
(Xidian Univ., Xi’an, CHN)
,
WANG Peng
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
29
号:
6 (1)
ページ:
689-698
発行年:
2017年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)