文献
J-GLOBAL ID:201702282292418482
整理番号:17A0409501
密封空洞を有するMEMS静電容量型圧力センサの高速解析的設計【Powered by NICT】
Fast analytical design of MEMS capacitive pressure sensors with sealed cavities
著者 (7件):
Rochus V.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Wang B.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Tilmans H.A.C.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Ray Chaudhuri A.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Helin P.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Severi S.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Rottenberg X.
(Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
資料名:
Mechatronics
(Mechatronics)
巻:
40
ページ:
244-250
発行年:
2016年
JST資料番号:
W0098A
ISSN:
0957-4158
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)