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文献
J-GLOBAL ID：201702282306119974
整理番号：17A0697831
深振動マグネトロンスパッタリングモードで堆積したタンタル薄膜の調整相【Powered by NICT】
Phase tailoring of tantalum thin films deposited in deep oscillation magnetron sputtering mode
Ferreira Fabio
(SEG-CEMUC - Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788, Coimbra, Portugal)
,
Ferreira Fabio
(Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, Berkeley, CA 94720, USA)
,
Sousa Claudio
(SEG-CEMUC - Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788, Coimbra, Portugal)
,
Cavaleiro Albano
(SEG-CEMUC - Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788, Coimbra, Portugal)
,
Anders Andre
(Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, Berkeley, CA 94720, USA)
,
Oliveira Joao
(SEG-CEMUC - Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788, Coimbra, Portugal)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 314 ページ： 97-104 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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