文献
J-GLOBAL ID:201702282606373416
整理番号:17A1022006
可変ポケットホルダ深さを用いた一定基板温度と一定高圧SCD成長の調査【Powered by NICT】
Exploring constant substrate temperature and constant high pressure SCD growth using variable pocket holder depths
著者 (3件):
Charris Amanda
(Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, East Lansing, MI, USA)
,
Nad Shreya
(Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, East Lansing, MI, USA)
,
Asmussen Jes
(Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, East Lansing, MI, USA)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
76
ページ:
58-67
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)