文献
J-GLOBAL ID:201702282705405364
整理番号:17A0386059
ArリッチなAlGaNの誘導結合型BCl3/Cl2/Arプラズマエッチング
Inductively coupled BCl3/Cl2/Ar plasma etching of Al-rich AlGaN
著者 (5件):
Douglas Erica A.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Sanchez Carlos A.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Kaplar Robert J.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Allerman Andrew A.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Baca Albert G.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
35
号:
2
ページ:
021305-021305-5
発行年:
2017年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)