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文献
J-GLOBAL ID：201702283160770607
整理番号：17A0302098
二重周波数容量結合プラズマにおける4次高調波による電気的非対称効果の一次元混成シミュレーション【Powered by NICT】
One-dimensional hybrid simulation of the electrical asymmetry effect caused by the fourth-order harmonic in dual-frequency capacitively coupled plasma
Wang Shuai
(Department of Physics, College of Sciences, Northeastern University)
,
Long Haifeng
(Department of Physics, College of Sciences, Northeastern University)
,
Bi Zhenhua
(School of Physics and Materials Engineering, Dalian Nationalities University)
,
Jiang Wei
(School of Physics, Huazhong University of Science and Technology)
,
Xu Xiang
(School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology)
,
Wang Younian
(School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology)
資料名：
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻： 25 号： 11 ページ： 115202_01-115202_06 発行年： 2016年
JST資料番号： W1539A ISSN： 1674-1056 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 英語 (EN)
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