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文献
J-GLOBAL ID：201702283640382636
整理番号：17A0462187
3極高電力パルスマグネトロンスパッタ法を用いた,火山構造2重ゲートSpindt型エミッタ陰極のための,Mo微小コーンの作製
Fabrication of Mo microcones for volcano-structured double-gate Spindt-type emitter cathodes using triode high power pulsed magnetron sputtering
Nakano Takeo
(Department of Materials and Life Science, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-Kita, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan)
,
Narita Tomoki
(Department of Materials and Life Science, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-Kita, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan)
,
Oya Kei
(Department of Materials and Life Science, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-Kita, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan)
,
Nagao Masayoshi
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
,
Ohsaki Hisashi
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35 号： 2 ページ： 022204-022204-6 発行年： 2017年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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