文献
J-GLOBAL ID:201702283654286018
整理番号:17A0289827
EUVL製造用の新しい密封式EUVペリクルの開発
Development of a novel closed EUV pellicle for EUVL manufacturing
著者 (6件):
ONO Yosuke
(Mitsui Chemicals Inc., Chiba, JPN)
,
KOHMURA Kazuo
(Mitsui Chemicals Inc., Chiba, JPN)
,
OKUBO Atsushi
(Mitsui Chemicals Inc., Chiba, JPN)
,
TANEICHI Daiki
(Mitsui Chemicals Inc., Chiba, JPN)
,
ISHIKAWA Hisako
(Mitsui Chemicals Inc., Chiba, JPN)
,
BIYAJIMA Tsuneaki
(Mitsui Chemicals Inc., Chiba, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9985
ページ:
99850B.1-99850B.7
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)