文献
J-GLOBAL ID:201702284897273849
整理番号:17A1724269
高Q値長さ伸長モード水晶マイクロ共振器のDRIE【Powered by NICT】
DRIE of high Q-factor length-extensional mode quartz micro-resonator
著者 (4件):
Chapellier Paul
(Dept. DPhIEE/CMT ONERA, The French Aerospace Lab Chatillon, FRANCE)
,
Verlhac Beatrice
(Dept. DPhIEE/CMT ONERA, The French Aerospace Lab Chatillon, FRANCE)
,
Lavenus Pierre
(Dept. DPhIEE/CMT ONERA, The French Aerospace Lab Chatillon, FRANCE)
,
Dulmet Bernard
(ENSMM FEMTO-ST Besanc,on, FRANCE)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
EFTF IFCS
ページ:
218-221
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)