文献
J-GLOBAL ID:201702285022315582
整理番号:17A0881437
部分的に放出されたジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)ダイヤフラムマイクロアクチュエータの実現可能性研究【Powered by NICT】
Feasibility study of a partially released lead-zirconate-titanate (PZT) Diaphragm micro-actuator
著者 (4件):
Liu Yifeng
(Department of Mechanical Engineering, University of Washington, Seattle, WA 98195-2600, USA)
,
Luo Chuan
(Department of Precision Instruments, Tsinghua University, Beijing, China)
,
Cao G.Z.
(Department of Material Science & Engineering, University of Washington, Seattle, WA 98195-2120, USA)
,
Shen I.Y
(Department of Mechanical Engineering, University of Washington, Seattle, WA 98195-2600, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
259
ページ:
1-13
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)