文献
J-GLOBAL ID:201702285231256652
整理番号:17A1810380
単一重畳駆動信号による三次元MEMSミラーの動作
Operation of three-dimensional MEMS mirror by single superposed driving signal
著者 (3件):
NAGASAWA Toshiya
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
OGUCHI Yohei
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
IWASE Eiji
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
56
号:
6S1
ページ:
06GN12.1-06GN12.5
発行年:
2017年06月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)