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文献
J-GLOBAL ID：201702285233289195
整理番号：17A0399039
化学的機械的平坦化系を研究するための電気化学的インピーダンス分光法を用いるための実験的考察【Powered by NICT】
Experimental considerations for using electrochemical impedance spectroscopy to study chemical mechanical planarization systems
Turk M.C.
(Department of Physics, Clarkson University, Potsdam, NY 13699-5820, USA)
,
Walters M.J.
(Department of Physics, Plattsburgh State University of New York, Plattsburgh, NY 12901, USA)
,
Roy D.
(Department of Physics, Clarkson University, Potsdam, NY 13699-5820, USA)
資料名：
Electrochimica Acta
(Electrochimica Acta)
巻： 224 ページ： 355-368 発行年： 2017年
JST資料番号： B0535B ISSN： 0013-4686 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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