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文献
J-GLOBAL ID：201702285343430733
整理番号：17A0363256
超精密Abbeコンプライアント線形エンコーダベース位置測定システムの設計と実験的検証【Powered by NICT】
Design and experimental validation of an ultra-precision Abbe-compliant linear encoder-based position measurement system
Bosmans Niels
(KU Leuven, Department of Mechanical Engineering, Division PMA, Celestijnenlaan 300B, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Qian Jun
(KU Leuven, Department of Mechanical Engineering, Division PMA, Celestijnenlaan 300B, 3001 Heverlee, Belgium)
,
Reynaerts Dominiek
(KU Leuven, Department of Mechanical Engineering, Division PMA, Celestijnenlaan 300B, 3001 Heverlee, Belgium)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 47 ページ： 197-211 発行年： 2017年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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