文献
J-GLOBAL ID:201702285715822570
整理番号:17A0527240
スマートガスセンシングシステムのためのSU-8支持層を持つブリッジタイプマイクロホットプレートの設計,製作,およびキャラクタリゼーション
Design, fabrication, and characterization of bridge-type micro-hotplates with an SU-8 supporting layer for a smart gas sensing system
著者 (6件):
IWATA T
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
SOO W P C
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
MATSUDA K
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
TAKAHASHI K
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
ISHIDA M
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
SAWADA K
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
27
号:
2
ページ:
024003,1-9
発行年:
2017年02月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)