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文献
J-GLOBAL ID：201702285860897065
整理番号：17A1258600
進行トリプルパターニング統合のための入れ子型相互接続マクロ電気収率の改善【Powered by NICT】
Nested interconnect macro electrical yield improvement for advanced triple patterning integration
Silvestre Mary Claire
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Ming He
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Mahalingam Anbu Selvam KM
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Child Craig
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Roux Alycia
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Chun Hui Low
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Fisher Daniel
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Yue Zhou
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Park DeNeil
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
,
Karakoy Mert
(GLOBALFOUNDRIES, 400 Stone Break Road Extension, Malta, NY 12020, United States of America)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MIPRO ページ： 10-14 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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