文献
J-GLOBAL ID:201702285931442974
整理番号:17A1961445
異なる電動機駆動法によるターボ分子ポンプのロータ温度の研究【Powered by NICT】
Investigation of the rotor temperature of a turbo-molecular pump with different motor drive methods
著者 (2件):
Liu Gang
(School of Instrumentation Science & Opto-electronics Engineering, BeiHang University, Beijing, 100191, China)
,
Mao Kun
(School of Instrumentation Science & Opto-electronics Engineering, BeiHang University, Beijing, 100191, China)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
146
ページ:
252-258
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)