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文献
J-GLOBAL ID：201702286254223974
整理番号：17A0632758
多数角平均化法に基づく絶対表面測定における位置誤差補正
Position error correction in absolute surface measurement based on a multi-angle averaging method
WANG Weibo
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
WANG Weibo
(Univ. Oxford, Oxford, GBR)
,
WU Biwei
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
LIU Pengfei
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
LIU Jian
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
,
TAN Jiubin
(Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 28 号： 4 ページ： 045009,1-5 発行年： 2017年04月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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