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文献
J-GLOBAL ID：201702286530857212
整理番号：17A0214255
内部スペーサとSiGeソース/ドレインをもつ置換金属ゲートプロセスにおける垂直積層NanoWires MOSFET【Powered by NICT】
Vertically stacked-NanoWires MOSFETs in a replacement metal gate process with inner spacer and SiGe source/drain
Barraud S.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Lapras V.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Samson M.P.
(STMicroelectronics, 850 rue J. Monnet, 38920 Crolles, France)
,
Gaben L.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Grenouillet L.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Maffini-Alvaro V.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Morand Y.
(STMicroelectronics, 850 rue J. Monnet, 38920 Crolles, France)
,
Daranlot J.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Rambal N.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Previtalli B.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Reboh S.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Tabone C.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Coquand R.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Augendre E.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Rozeau O.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Hartmann J. M.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Vizioz C.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Arvet C.
(STMicroelectronics, 850 rue J. Monnet, 38920 Crolles, France)
,
Pimenta-Barros P.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Posseme N.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Loup V.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Comboroure C.
(STMicroelectronics, 850 rue J. Monnet, 38920 Crolles, France)
,
Euvrard C.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Balan V.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Tinti I.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Audoit G.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Bernier N.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Cooper D.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Saghi Z.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Allain F.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Toffoli A.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Faynot O.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
,
Vinet M.
(CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： IEDM ページ： 17.6.1-17.6.4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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