文献
J-GLOBAL ID:201702286659495209
整理番号:17A0443073
準単分散β-SiCナノ粒子:合成と応用化学的-機械的研磨【Powered by NICT】
Quasi-monodisperse β-SiC nanospheres: Synthesis and application in chemical-mechanical polishing
著者 (1件):
Zhang Meng
(School of Materials Science and Engineering, Henan University of Technology, Zhengzhou 450007, China)
資料名:
Journal of Physics and Chemistry of Solids
(Journal of Physics and Chemistry of Solids)
巻:
103
ページ:
1-5
発行年:
2017年
JST資料番号:
C0202A
ISSN:
0022-3697
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)