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文献
J-GLOBAL ID：201702286733598725
整理番号：17A0439895
コヒーレンス走査干渉計による薄膜界面の表面粗さの測定
Measurement of thin film interfacial surface roughness by coherence scanning interferometry
Yoshino H.
(Loughborough University, Leicestershire LE11 3TU, United Kingdom)
,
Abbas A.
(Loughborough University, Leicestershire LE11 3TU, United Kingdom)
,
Kaminski P. M.
(Loughborough University, Leicestershire LE11 3TU, United Kingdom)
,
Smith R.
(Loughborough University, Leicestershire LE11 3TU, United Kingdom)
,
Walls J. M.
(Loughborough University, Leicestershire LE11 3TU, United Kingdom)
,
Mansfield D.
(Taylor Hobson Ltd., Leicestershire LE4 9JD, United Kingdom)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 121 号： 10 ページ： 105303-105303-10 発行年： 2017年03月14日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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