文献
J-GLOBAL ID:201702286757731044
整理番号:17A0047715
I-VおよびC-V感度マップを用いたDRAMコンデンサの欠陥分布の抽出
Extraction of the Defect Distributions in DRAM Capacitor Using $I$ - $V$ and $C$ - $V$ Sensitivity Maps
著者 (4件):
Sereni Gabriele
(Universita` di Modena e Reggio Emilia, Reggio Emilia, Italy)
,
Larcher Luca
(Universita` di Modena e Reggio Emilia, Reggio Emilia, Italy)
,
Kaczer Ben
(imec, Leuven, Belgium)
,
Popovici Mihaela Ioana
(imec, Leuven, Belgium)
資料名:
IEEE Electron Device Letters
(IEEE Electron Device Letters)
巻:
37
号:
10
ページ:
1280-1283
発行年:
2016年
JST資料番号:
B0344B
ISSN:
0741-3106
CODEN:
EDLEDZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)