文献
J-GLOBAL ID:201702286786046525
整理番号:17A0635612
面内応力を有する圧電薄膜複合ダイヤフラムの電気機械的挙動
The electromechanical behavior of piezoelectric thin film composite diaphragms possessing in-plane stresses
著者 (6件):
GRIFFIN B A
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
WILLIAMS M D
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
WANG G
(MEMS Drive, CA, USA)
,
SANKAR B V
(Univ. Florida, FL, USA)
,
CATTAFESTA L N
(Florida State Univ., FL, USA)
,
SHEPLAK M
(Univ. Florida, FL, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
27
号:
4
ページ:
045017,1-12
発行年:
2017年04月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)